2021年度第5回 先進コーティングアライアンス ADCAL勉強会
受付中

超音速フリージェットPVDによるナノ結晶厚膜の開発

ナノ粒子の堆積による新しい成膜法

日時
令和3年12月16日(木)15:00-16:30
           15:00-16:00(ご講演)
           16:00-16:30(質疑応答)
場所
オンライン開催 (Teams)
講演者
芝浦工業大学 工学部材料工学科 教授
 湯本 敦史 先生
ご略歴
2003年工学院大学大学院工学研究科博士課程修了.博士(工学).
2006年工学院大学工学部機械システム工学科講師,
2010年退職.同年芝浦工業大学工学部材料工学科助教.准教授を経て,
2018年より芝浦工業大学教授(現職).

専門分野:材料加工処理,薄膜工学
講演内容
超音速フリージェットPVDは,生成直後の活性な表面を有するナノメートルサイズの粒子(ナノ粒子)を,マッハ数4.2の超音速ガス流(約5km/s)により加速させ,高い運動エネルギを付与したナノ粒子を基材に堆積させることで成膜する,新しい原理によるコーティング法です.本法では,蒸発させた原子を高い歩留りで成膜させることができるため従来のPVD法と比べて成膜速度が高く,また,室温近傍の低温環境下で皮膜を形成させることができるため様々な基材材質に成膜することができます.
これまでの成膜実績として,各種金属・合金やセラミックス(酸化物,窒化物,炭化物,フッ化物)皮膜の合成に成功しており,ナノ結晶由来の特異な膜特性の発現も確認されています.また,膜原料の蒸発源としてナノ秒パルスレーザーを用いることで,アブレーション条件の精査により結晶構造を制御した皮膜(例えば,ε-Fe2O3の生成や,SiC等の結晶多形となる材料の構成相制御など)の形成にも取り組んでおります.
本講演では,超音速フリージェットPVDの成膜原理と形成される皮膜の特徴を,これまでの成膜実績例を示して紹介すると共に,絶縁膜,磁性膜,生体材料,燃料電池への応用について当研究室の見解(期待)をお話し致します.
参加資格
先進コーティングアライアンス会員限定
参加費
無料
※お申込みは会員登録が必要です。会員専用入口からお申込みください。
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